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排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。

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接下来是拆侧盖内的零件，这些零件是用于确定螺杆固定端端面间隙，因此在拆卸时须作好标记，以便于重装时原样复位，避免重新调整固定端间隙。使用的M12顶杆将侧盖从泵体上卸下，再从侧盖内将干式密封、轴承等卸下，要注意是否存在调节垫圈，在垫圈上作好标记。

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在真空状态下，液体的沸点降低，这对于处理热敏材料非常有利，在真空条件下，从液态产生的固体终端产物更加均匀，几乎没有气泡造成的空穴。此外，含有侵蚀性的化合物在真空下处理和转移则更为安全。