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旋片泵的工作原理：旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子（转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。

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排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。

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在真空状态下，液体的沸点降低，这对于处理热敏材料非常有利，在真空条件下，从液态产生的固体终端产物更加均匀，几乎没有气泡造成的空穴。此外，含有侵蚀性的化合物在真空下处理和转移则更为安全。